服閥是主要用于電液轉(zhuǎn)換的元件，它能把微小的電氣信號(hào)轉(zhuǎn)換成大功率的液壓能輸出。其性能的優(yōu)劣上的電磁轉(zhuǎn)矩，彈簧管反轉(zhuǎn)矩，反饋桿反轉(zhuǎn)矩等諸力對(duì)電液調(diào)節(jié)系統(tǒng)的影響很大，因此，它是電液調(diào)節(jié)系統(tǒng)的核心和關(guān)鍵。典型的伺服閥由永磁力矩馬達(dá)、噴嘴、檔板、閥芯、閥套和控制腔組成。伺服閥廣泛地應(yīng)用于電液位置，速度加速度，力伺服系統(tǒng)，以及伺服振動(dòng)發(fā)生器中，它具有體積小，結(jié)構(gòu)緊湊，功率放大系數(shù)高，控制精度高，直線(xiàn)性好，死區(qū)小，靈敏度高，動(dòng)態(tài)性能好以及響應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn)

 基本信息

• 中文名伺服閥
• 外文名Electro-hydraulic servo valve
• 應(yīng)用領(lǐng)域電液位置速度加速度力伺服系統(tǒng)等

• 釋義一種電液轉(zhuǎn)換和功率放大元件
• 地位  電液伺服系統(tǒng)控制的核心

簡(jiǎn)介

電液伺服閥是電液伺服控制中的關(guān)鍵元件，它是一種接受模擬電信號(hào)后，相應(yīng)輸出調(diào)制的流量和壓力的液壓控制閥。電液伺服閥具有動(dòng)態(tài)響應(yīng)快、控制精度高、使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，已廣泛應(yīng)用于航空、航天、艦船、冶金、化工等領(lǐng)域的電液伺服控制系統(tǒng)中。

液壓伺服閥是構(gòu)建液壓伺服控制系統(tǒng)的核心元件，因此液壓控制系統(tǒng)書(shū)籍會(huì)包含電液伺服閥內(nèi)容。[1]

發(fā)展過(guò)程

電液伺服閥技術(shù)誕生是液壓控制技術(shù)和液壓控制系統(tǒng)的發(fā)展的結(jié)果。

液壓控制技術(shù)的歷史最早可追溯到公元前240年，當(dāng)時(shí)一位古埃及人發(fā)明了人類(lèi)歷史上第一個(gè)液壓伺服系統(tǒng)——水鐘。然而在隨后漫長(zhǎng)的歷史階段，液壓控制技術(shù)一直裹足不前，直到18世紀(jì)末19世紀(jì)初，才有一些重大進(jìn)展。在二戰(zhàn)前夕，隨著工業(yè)發(fā)展的需要，液壓控制技術(shù)出現(xiàn)了突飛猛進(jìn)地發(fā)展，許多早期的控制閥原理及均是這一時(shí)代的產(chǎn)物。如：Askania調(diào)節(jié)器公司及Askania-Werke發(fā)明及申請(qǐng)了射流管閥原理的  。同樣Foxboro發(fā)明了噴嘴擋板閥原理的 。而德國(guó)Siemens公司發(fā)明了一種具有永磁馬達(dá)及接收機(jī)械及電信號(hào)兩種輸入的雙輸入閥，并開(kāi)創(chuàng)性地使用在航空領(lǐng)域。

在二戰(zhàn)末期，伺服閥是用螺線(xiàn)管直接驅(qū)動(dòng)閥芯運(yùn)動(dòng)的單級(jí)開(kāi)環(huán)控制閥。然隨著控制理論的成熟及軍事應(yīng)用的需要，伺服閥的研制和發(fā)展取得了巨大成就。 1946年，英國(guó)Tinsiey獲得了兩級(jí)閥的 ；Raytheon和Bell航空發(fā)明了帶反饋的兩級(jí)閥；MIT用力矩馬達(dá)替代了螺線(xiàn)管使馬達(dá)消耗的功率更小而線(xiàn)性度更好。1950年，W.C.Moog第一個(gè)發(fā)明了單噴嘴兩級(jí)伺服閥。1953年至1955年間，T.H.Carson發(fā)明了機(jī)械反饋式兩級(jí)伺服閥；W.C.Moog發(fā)明了雙噴嘴兩級(jí)伺服閥；Wolpin發(fā)明了干式力矩馬達(dá)，消除了原來(lái)浸在油液內(nèi)的力矩馬達(dá)由油液污染帶來(lái)的可靠性問(wèn)題。 1957年R.Atchley利用Askania射流管原理研制了兩級(jí)射流管伺服閥。并于1959年研制了三級(jí)電反饋伺服閥。

1959年2月國(guó)外某液壓與氣動(dòng)雜志對(duì)當(dāng)時(shí)的伺服閥情況作了12頁(yè)的報(bào)道，顯示了當(dāng)時(shí)伺服閥蓬勃發(fā)展的狀況。那時(shí)生產(chǎn)各種類(lèi)型的伺服閥的制造商有 20多家。各生產(chǎn)廠家為了爭(zhēng)奪伺服閥生產(chǎn)的霸權(quán)地位展開(kāi)了激烈地競(jìng)爭(zhēng)。回顧歷史，可以看到最終取勝的幾個(gè)廠家，大多數(shù)生產(chǎn)具有反饋及力矩馬達(dá)的兩級(jí)伺服閥。我們可以看到1960年的伺服閥已具有現(xiàn)代伺服閥的許多特點(diǎn)。如：第二級(jí)對(duì)第一級(jí)反饋形成閉環(huán)控制；采用干式力矩馬達(dá)；前置級(jí)對(duì)功率級(jí)的壓力恢復(fù)通常可達(dá)到50%；第一級(jí)的機(jī)械對(duì)稱(chēng)結(jié)構(gòu)減小了溫度、壓力變化對(duì)零位的影響。同時(shí)，由早期的直動(dòng)型開(kāi)環(huán)控制閥發(fā)展變化而來(lái)的直動(dòng)型兩級(jí)閉環(huán)控制伺服閥也已出現(xiàn)。當(dāng)時(shí)的伺服閥主要用于軍事領(lǐng)域，隨著太空時(shí)代的到來(lái)，伺服閥又被廣泛用于航天領(lǐng)域，并研制出高可靠性的多余度伺服閥等尖端產(chǎn)品。

與此同時(shí)，隨著伺服閥工業(yè)運(yùn)用場(chǎng)合的不斷擴(kuò)大，某些生產(chǎn)廠家研制出了專(zhuān)門(mén)使用于工業(yè)場(chǎng)合的工業(yè)伺服閥。如Moog公司就在1963年推出了第一款專(zhuān)為工業(yè)場(chǎng)合使用的73系列伺服閥產(chǎn)品。隨后，越來(lái)越多的專(zhuān)為工業(yè)用途研制的伺服閥出現(xiàn)了。它們具有如下的特征：較大的體積以方便制造；閥體采用鋁材（需要時(shí)亦可采用鋼材）；獨(dú)立的第一級(jí)以方便調(diào)整及維修；主要使用在14MPa以下的低壓場(chǎng)合；盡量形成系列化、標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品。然而Moog公司在德國(guó)的分公司卻將其伺服閥的應(yīng)用場(chǎng)合主要集中在高壓場(chǎng)合，一般工作壓力在21MPa，有的甚至到35MPa，這就使閥的設(shè)計(jì)專(zhuān)重于高壓下的使用可靠性。而隨著伺服閥在工業(yè)場(chǎng)合的廣泛運(yùn)用，各公司均推出了各自的適合工業(yè)場(chǎng)合用的比例閥。其特點(diǎn)為低成本，控制精度雖比不上伺服閥，但通過(guò)先進(jìn)的控制技術(shù)和先進(jìn)的電子裝置以彌補(bǔ)其不足，使其性能和功效逼近伺服閥。1973年，Moog公司按工業(yè)使用的需要，把某些伺服閥轉(zhuǎn)換成工業(yè)場(chǎng)合的比例閥標(biāo)準(zhǔn)接口。Bosch研制出了其標(biāo)志性的射流管先導(dǎo)級(jí)及電反饋的平板型伺服閥。1974年，Moog公司推出了低成本、大流量的三級(jí)電反饋伺服閥。Vickers公司研制了壓力補(bǔ)償?shù)腒G 型比例閥。Rexroth、Bosch及其他公司研制了用兩個(gè)線(xiàn)圈分別控制閥芯兩方向運(yùn)動(dòng)的比例閥等等 。

伺服閥的分類(lèi)及特點(diǎn)

伺服閥（Servo Valve）是一種控制系統(tǒng)中常用的液壓元件，主要用于精密液壓

傳動(dòng)系統(tǒng)中的流量和壓力的精確控制。它通過(guò)調(diào)節(jié)液壓油的流量和壓力，實(shí)現(xiàn)精確

的位置、速度和力的控制，廣泛應(yīng)用于飛機(jī)、船舶、汽車(chē)、機(jī)床等領(lǐng)域。伺服閥根

據(jù)工作原理和結(jié)構(gòu)特點(diǎn)的不同，可以分為兩種主要類(lèi)型：液動(dòng)伺服閥和電液伺服閥。

 液動(dòng)伺服閥是一種傳統(tǒng)的液壓元件，主要由閥芯、閥座、油室、壓力補(bǔ)償以及

電控元件等部分組成。它的工作原理是通過(guò)調(diào)節(jié)閥芯與閥座之間的間隙，以控制液

壓油的流量和壓力，從而實(shí)現(xiàn)相應(yīng)的運(yùn)動(dòng)控制。液動(dòng)伺服閥具有以下特點(diǎn)：

高精度控制：液動(dòng)伺服閥能夠提供高精度的位置、速度和力的控制，其控制

精度可以達(dá)到微米級(jí)，適用于對(duì)位置和速度要求較高的應(yīng)用。

快速響應(yīng)：液動(dòng)伺服閥具有快速的動(dòng)態(tài)響應(yīng)特性，能夠?qū)崿F(xiàn)高頻率的控制，

適用于對(duì)快速響應(yīng)的系統(tǒng)要求。

大功率輸出：液動(dòng)伺服閥具有較大的功率輸出能力，能夠承載較大的負(fù)載，

適用于一些高功率的應(yīng)用。

 不過(guò)，液動(dòng)伺服閥也存在一些局限性，如無(wú)法實(shí)現(xiàn)非線(xiàn)性控制和需要較為復(fù)雜

的電控系統(tǒng)等。

 與液動(dòng)伺服閥相比，電液伺服閥是近年來(lái)液壓技術(shù)發(fā)展的新型伺服閥。電液伺

服閥集成了傳統(tǒng)液動(dòng)伺服閥的液壓元素和電控元素，并通過(guò)電磁比例機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)對(duì)液

壓油流量的精確調(diào)節(jié)。電液伺服閥具有以下特點(diǎn)：

EMG SV1-10/4/120/6伺服閥

EMG SV1-10/4/120/6伺服閥

EMG SV1-10/8/315/6 伺服閥

EMG SV1-10/8/120/6伺服閥

EMG SV1-10/16/120/6伺服閥

EMG SV1-10/16/315/6伺服閥

EMG SV1-10/16/210/6 伺服閥 

EMG SV1-10/32/100/6伺服閥

EMG SV1-10/32/315/6伺服閥  

EMG SV1-10/32/315/8伺服閥

EMG SV1-10/32/100/6伺服閥  

EMG SV1-10/48/315/8伺服閥

EMG SV1-10/48/315/6伺服閥

EMG SV2-10/64/210/6伺服閥

EMG SV2-16/125/315/1/1/01伺服閥

EMG KLW150.012傳感器

EMG KLW225.012傳感器

EMG KLW300.012傳感器

高精度控制：電液伺服閥的控制精度高，可以實(shí)現(xiàn)微米級(jí)的位置和速度控制，

適用于對(duì)精度要求較高的任務(wù)。

簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)：電液伺服閥將電控元件和液壓元件集成在一起，結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)化，

安裝和維護(hù)較為方便。

伺服閥是電液伺服控制中的關(guān)鍵元件知名品牌，它是一種接受模擬電信號(hào)后，相應(yīng)輸出調(diào)制的流量和壓力的液壓控制閥。電液伺服閥具有動(dòng)態(tài)響應(yīng)快、控制精度高、使用壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)，伺服閥可分為單級(jí)、雙級(jí)或三級(jí)三種。

伺服閥原理：

伺服閥由永磁力矩馬達(dá)、噴嘴、檔板、閥芯、閥套和控制腔組成。當(dāng)輸入線(xiàn)圈通入電流伺服閥時(shí)，檔板向右移動(dòng)，使右邊噴嘴的節(jié)流作用加強(qiáng)，流量減少，右側(cè)背壓上升；同時(shí)使左邊噴嘴節(jié)流作用減小，流量增加，左側(cè)背壓下降。閥芯兩端的作用力失去平衡,閥芯遂向左移動(dòng)。高壓油從S流向C2，送到負(fù)載。負(fù)載回油通過(guò)C1流過(guò)回油口，進(jìn)入油箱。閥芯的位移量與力矩馬達(dá)的輸入電流成正比，作用在閥芯上的液壓力與彈簧力相平衡，因此在平衡狀態(tài)下力矩馬達(dá)的差動(dòng)電流與閥芯的位移成正比。如果輸入的電流反向，則流量也反向。

伺服閥在液壓萬(wàn)能試驗(yàn)機(jī)中的作用液壓伺服閥通過(guò)改變輸入信號(hào)的大小，連續(xù)、雙向、成比例地控制液壓系統(tǒng)的流量或壓力，可用于位置控制、速度控制、加速度控制、力控制等各方面。電液伺服閥通常是由電氣-機(jī)械轉(zhuǎn)換器、液壓放大器（先導(dǎo)級(jí)閥和功率級(jí)主閥）、檢測(cè)反饋機(jī)構(gòu)三部分組成。

伺服閥特點(diǎn)：

① 結(jié)構(gòu)緊湊、體積小；

② 直線(xiàn)性好；

③ 動(dòng)態(tài)響應(yīng)好；

④ 控制精度高。

伺服閥是一種用于控制液壓或氣壓系統(tǒng)中流體流動(dòng)的裝置，通過(guò)電信號(hào)或其他輸入信號(hào)控制閥芯的位置，從而精確控制流體的流量、壓力和方向。伺服閥廣泛應(yīng)用于工業(yè)自動(dòng)化、機(jī)械控制、液壓系統(tǒng)和氣動(dòng)系統(tǒng)等領(lǐng)域。

一體伺服是指將伺服控制器集成到伺服閥內(nèi)部的一種設(shè)計(jì)方式。一體伺服將伺服電機(jī)、傳感器和控制器等組件直接集成到伺服閥內(nèi)部，形成一個(gè)緊湊的、集成化的裝置。這種設(shè)計(jì)方式可以減小系統(tǒng)的占地面積，簡(jiǎn)化安裝和布線(xiàn)，提高控制精度和響應(yīng)速度。

一體伺服在伺服閥中的集成可以實(shí)現(xiàn)以下優(yōu)勢(shì)：

（1）緊湊設(shè)計(jì)：一體伺服將多個(gè)組件集成到一個(gè)裝置中，減小了系統(tǒng)的占地面積，適用于空間有限的應(yīng)用場(chǎng)景。

（2）更高的控制精度：一體伺服通過(guò)直接控制閥芯的位置，實(shí)現(xiàn)更精確的流量、壓力和方向控制，提高系統(tǒng)的控制精度。

（3）更快的響應(yīng)速度：一體伺服減少了信號(hào)傳輸?shù)臅r(shí)間延遲，實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)速度，適應(yīng)對(duì)于快速控制要求的應(yīng)用場(chǎng)景。

（4）簡(jiǎn)化安裝和布線(xiàn)：一體伺服減少了傳統(tǒng)伺服系統(tǒng)中的連接線(xiàn)纜和接口，簡(jiǎn)化了安裝和布線(xiàn)的過(guò)程，降低了系統(tǒng)的復(fù)雜性。

伺服閥的主要作用包括控制流量和壓力、實(shí)現(xiàn)位置和速度控制、提高系統(tǒng)的安全性和可靠性等。以下是關(guān)于伺服閥作用的詳細(xì)介紹：¹²

• 控制流量和壓力。伺服閥能夠根據(jù)需要調(diào)節(jié)液壓或氣動(dòng)系統(tǒng)的流量和壓力，確保系統(tǒng)的穩(wěn)定和可靠。¹²

• 實(shí)現(xiàn)位置和速度控制。伺服閥可精確控制液壓缸和液壓馬達(dá)的位置和速度，提高機(jī)械運(yùn)動(dòng)的精度和效率。¹²

• 提高系統(tǒng)的安全性和可靠性。伺服閥在系統(tǒng)中控制壓力和流量，防止因過(guò)高的壓力或流量而發(fā)生故障，保障系統(tǒng)安全。¹³

• 廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域。伺服閥被廣泛應(yīng)用于工業(yè)控制、機(jī)器人技術(shù)、航空航天、機(jī)床加工和液壓發(fā)電等多個(gè)領(lǐng)域。³⁶

此外，伺服閥還可以通過(guò)電信號(hào)調(diào)節(jié)液壓功率，實(shí)現(xiàn)功率的精確調(diào)節(jié)，提高工業(yè)生產(chǎn)的效率和精確度

出量與輸入量成一定函數(shù)關(guān)系并能快速響應(yīng)的液壓控制閥﹐是液壓伺服系統(tǒng)的重要元件。液壓伺服閥按結(jié)構(gòu)分為滑閥式﹑噴嘴擋板式﹑射流管式﹑射流板式和平板式等﹔按輸入信號(hào)可分為機(jī)液伺服閥﹑電液伺服閥和氣液伺服閥。機(jī)液伺服閥是將小功率的機(jī)械動(dòng)作轉(zhuǎn)變?yōu)橐簤狠敵隽?流量或壓力)的機(jī)液轉(zhuǎn)換元件。機(jī)液伺服閥大都是滑閥式結(jié)構(gòu)﹐在船舶的舵機(jī)﹑機(jī)床的仿形裝置﹑飛機(jī)的助力器上應(yīng)用最早。電液伺服閥是將電量轉(zhuǎn)變成液壓輸出量的電液轉(zhuǎn)換元件﹐出現(xiàn)於1940年。到50年代﹐這種元件的結(jié)構(gòu)趨於成熟。隨著電子技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展﹐電液伺服系統(tǒng)的性能得到顯著改善﹐大大優(yōu)於其他的液壓伺服系統(tǒng)﹐因而得到廣泛應(yīng)用。電液伺服閥的內(nèi)部結(jié)構(gòu)可分滑閥位置反饋﹑載荷壓力反饋和載荷流量反饋﹔閥的級(jí)數(shù)可分單級(jí)﹑雙級(jí)和多級(jí)。在電液伺

EMG KLW360.012傳感器

EMG KLW450.012傳感器 糾偏系統(tǒng)

EMG KLW600.012傳感器

EMG LLS675/02 LICHTBAND對(duì)中整流器

EMG發(fā)射光源/L1C770/01-24VDC/3.0A升級(jí)型號(hào)LLS875/01

EMG DMC2000-B3-160-SMC002-DCS電動(dòng)執(zhí)行器

EMG LIC2.01.1電路板

EMG EVB03/235351放大器    

EMG DMCR59-B1-10電動(dòng)執(zhí)行器  

EMG EVK2-CP/300.02/R光電傳感器EMG位置傳感器LWH-0300

EMG電動(dòng)執(zhí)行器DMCR59-B1-10

EMG伺服閥SV1-10/32/315/6

EMG伺服閥SV1-10/32/315/8

EMG伺服閥SV1-10/48/315/8

EMG推動(dòng)桿EB1250-60IIW5T

EMG推動(dòng)桿EB800-60II

EMG推動(dòng)桿EB220-50/2IIW5T

EMG推動(dòng)桿EB300-50IIW5T

EMG發(fā)射光源L1C770/01-24VDC/3.0A  

EMG制動(dòng)器ED121/6 2LL5   551-1

EMG光電探頭EVK2-CP/800.71L/R

EMG放大器EVB03/235351

EMG電路板SMI 2.11.3/235990

EMG泵DMC 249-A-40 

EMG泵DMC 249-A-50 

EMG泵DMC 30 A-80 

EMG泵DPMC 59-V-8 

EMG位置傳感器LWH-0300

EMG電動(dòng)執(zhí)行器DMCR59-B1-10

EMG電動(dòng)執(zhí)行器DMCR59-B1-10

EMG伺服閥SV1-10/32/315/8

EMG伺服閥SV1-10/48/315/8

EMG伺服閥SV2-10/64/210/6

EMG 攝像頭 LS13.01   

SV1-10/4/315/6   SV1-10/4/100/6  SV1-10/8/100/6 

服閥中﹐將電信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)樾D(zhuǎn)或直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)的部件稱(chēng)為力矩馬達(dá)或力馬達(dá)。力矩馬達(dá)浸泡在油液中的稱(chēng)為濕式﹐不浸泡在油液中的稱(chēng)為乾式。其中以滑閥位置反饋﹑兩級(jí)乾式電液伺服閥應(yīng)用最廣。圖 電液伺服閥的工作原理圖 為電液伺服閥的工作原理。力矩馬達(dá)在線(xiàn)圈中通入電流后產(chǎn)生扭矩﹐使彈簧管上的擋板在兩噴嘴間移動(dòng)﹐移動(dòng)的距離和方向隨電流的大小和方向而變化。例如擋板向右移近噴嘴時(shí)﹐就在主閥芯兩端面上產(chǎn)生壓力差推動(dòng)主閥芯左移﹐使壓力油口P S與載荷1口相通﹐回油口與載荷 2口相通。主閥芯左移的同時(shí)通過(guò)反饋桿對(duì)力矩馬達(dá)產(chǎn)生的力矩和擋板的位移進(jìn)行負(fù)反饋。因此﹐主閥芯的位移量就能精確地隨著電流的大小和方向而變化﹐從而控制通向液壓執(zhí)行元件的流量和壓力。氣液伺服閥是將氣動(dòng)量轉(zhuǎn)變?yōu)橐簤狠敵隽康臍庖恨D(zhuǎn)換元件。

伺服閥是一種用于控制流體流動(dòng)的設(shè)備，主要通過(guò)改變閥門(mén)的開(kāi)啟程度來(lái)調(diào)整流體的流量。

伺服閥在自動(dòng)化系統(tǒng)中得到廣泛應(yīng)用，用于精確控制壓力、流量和方向。伺服閥采用電、液或氣信號(hào)來(lái)驅(qū)動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)精密的流體控制。

伺服閥的工作原理基于反饋系統(tǒng)，其中傳感器測(cè)量輸出參數(shù)（例如壓力、流量或位置）并將信息反饋給控制單元。控制單元與執(zhí)行機(jī)構(gòu)連接，通過(guò)調(diào)整閥門(mén)的位置來(lái)維持或調(diào)整所需的輸出參數(shù)。這種反饋機(jī)制使得伺服閥能夠?qū)崟r(shí)調(diào)整并保持系統(tǒng)的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。

伺服閥的應(yīng)用領(lǐng)域非常廣泛，包括工業(yè)自動(dòng)化、液壓系統(tǒng)、航空航天、汽車(chē)工業(yè)等。在這些領(lǐng)域，伺服閥能夠提供高精度、高響應(yīng)性和可靠性的流體控制，適用于需要復(fù)雜運(yùn)動(dòng)和高性能的系統(tǒng)。