主營產品：全自動硅片缺陷檢測復合機，機械手臂等
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| 詳細參數 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 其他 | 型號 | GWE |
| 加工定制 | 是 | 結構型式 | 臺式 |
可對應300mm硅片的邊緣的缺陷檢測。
【邊緣檢測】：對硅片外周（Bevel）進行非接觸式高速檢測。畫像處理根據預先設定的參數條件自動提取各種缺陷，并判定是否合格。
【缺陷種類】：邊緣部：scratch，chip ; V-notch：scratch，chip
【生產能力】：根據缺陷種類不同每片檢測最快只需20S。
【菜單功能】：可編輯檢測菜單，并進行參數保存與導出。
【檢測范圍】：邊緣，V-notch
【檢測對象】：12寸拋光片
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