主營產品：升華儀，管式爐，PECVD,CVD
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| 詳細參數 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | BEQ | 型號 | 其他 |
|
真空腔室 |
φ120*H350mm |
|
基片架 |
轉速可調 |
|
最大可鍍工件直徑 |
φ60mm |
|
極限真空度 |
2X10-4Pa |
|
抽氣時間 |
≤30min |
|
功率 |
150W |
|
真空系統 |
進口分子泵 |
|
蒸發溫度 |
80-600度 |
|
膜厚儀 |
單通道 |
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