產品詳情
一、主要用于單片式ITO導電玻璃、蓋板玻璃、硅片、光刻自動清洗、去膠剝離清洗
二、基本參數
1.工件尺寸:40*40mm/50*50mm/200*200mm 4寸-12寸硅片
2.設備結構形式:封閉式清洗
3.清洗專用片盒放置位置數量:2個
4.單個片盒存放基片數量:25片
5.片盒檢測:傳感器
6.機械手臂轉軸:4軸機器人
7.機械手臂對位精度:±0.1mm
8.漏掃及錯掃率:<1/10000
9.清洗主軸轉速:額定3000RPM
10.承片臺:夾持多點支撐、機械安全限位的方式
三、備件耗材
1.清洗液過濾器:2套
2.N2過濾器:2套
3.去離子水過濾器:2套
4.毛刷:2套
有意向的親們歡迎聯系24小時服務熱線:13922803857謝小姐



