產品詳情
ULVAC（愛發科）真空泵在光伏太陽能電池行業的詳細應用
1. 光伏太陽能電池制造中的關鍵真空工藝
ULVAC真空泵廣泛應用于光伏（太陽能電池）生產中的多個關鍵制程環節，主要包括：
- 薄膜沉積（PVD/CVD）：用于非晶硅、碲化鎘（CdTe）、銅銦鎵硒（CIGS）及鈣鈦礦太陽能電池的鍍膜。
- 真空層壓：在組件封裝過程中去除氣泡，提高組件耐久性。
- 真空干燥：用于電極（如PERC電池）的快速干燥處理。
- 真空輸送：硅料或靶材的無塵傳輸，減少污染。
2. ULVAC真空泵的技術優勢
- 耐粉塵與腐蝕：光伏鍍膜工藝可能產生顆粒或化學副產物，ULVAC干式泵（如螺桿泵、渦旋泵）可避免油污染，延長使用壽命。
- 高抽速與穩定性：確保大面積均勻鍍膜（如CIGS電池的GIGS吸收層）。
-節能高效：低能耗設計降低生產成本，符合光伏行業降本需求。
3. 典型應用案例
- 鈣鈦礦太陽能電池：在真空蒸鍍鈣鈦礦層時，ULVAC分子泵提供超高真空環境（≤10?? Pa），提高轉換效率。
- HJT（異質結）電池：PECVD沉積非晶硅層需高潔凈真空，ULVAC干泵+羅茨泵組合保障無碳氫污染。
- TOPCon電池：LPCVD（低壓化學氣相沉積）制備多晶硅鈍化層時，真空泵維持穩定低壓環境。
4. 行業趨勢與ULVAC的適配性
- 大尺寸硅片（210mm+）：需要更高抽速的真空系統以匹配更大反應腔體。
如需具體型號（如ULVAC Dry Pump DA/DR系列）或某工藝的詳細參數，可進一步探討！
1. 光伏太陽能電池制造中的關鍵真空工藝
ULVAC真空泵廣泛應用于光伏（太陽能電池）生產中的多個關鍵制程環節，主要包括：
- 薄膜沉積（PVD/CVD）：用于非晶硅、碲化鎘（CdTe）、銅銦鎵硒（CIGS）及鈣鈦礦太陽能電池的鍍膜。
- 真空層壓：在組件封裝過程中去除氣泡，提高組件耐久性。
- 真空干燥：用于電極（如PERC電池）的快速干燥處理。
- 真空輸送：硅料或靶材的無塵傳輸，減少污染。
2. ULVAC真空泵的技術優勢
- 耐粉塵與腐蝕：光伏鍍膜工藝可能產生顆粒或化學副產物，ULVAC干式泵（如螺桿泵、渦旋泵）可避免油污染，延長使用壽命。
- 高抽速與穩定性：確保大面積均勻鍍膜（如CIGS電池的GIGS吸收層）。
-節能高效：低能耗設計降低生產成本，符合光伏行業降本需求。
3. 典型應用案例
- 鈣鈦礦太陽能電池：在真空蒸鍍鈣鈦礦層時，ULVAC分子泵提供超高真空環境（≤10?? Pa），提高轉換效率。
- HJT（異質結）電池：PECVD沉積非晶硅層需高潔凈真空，ULVAC干泵+羅茨泵組合保障無碳氫污染。
- TOPCon電池：LPCVD（低壓化學氣相沉積）制備多晶硅鈍化層時，真空泵維持穩定低壓環境。
4. 行業趨勢與ULVAC的適配性
- 大尺寸硅片（210mm+）：需要更高抽速的真空系統以匹配更大反應腔體。
- 綠色制造：干式泵減少油污染，助力光伏行業可持續發展。
如需具體型號（如ULVAC Dry Pump DA/DR系列）或某工藝的詳細參數，可進一步探討！
